| Формирующие сетки обычно изготавливаются из нихромовой проволоки диаметром около 0,04 мм, навитой на каркас, содержащий спиленный винт с шагом нарезки около 190 витков/см. Так как перед намоткой проволока калибровалась протяжкой через фильеру, «тень», отбрасываемая на подложке отдельной проволокой, имела почти параллельные края. Зазор, ширина которого значительно меньше диаметра проволоки, можно получить двукратным последовательным напылением, сместив соответствующим образом подложку после окончания первого цикла. На фиг. 1а изображен способ получения узкого зазора с применением одной проволоки. На фиг. 1б показана схема формирования истока, затвора и стока в планарном варианте ППТ с применением двух проволок. Благодаря отмеченной выше строгой параллельности краев тени минимальные расстояния между истоком, затвором и стоком, которые можно реализовать, составляют лишь 1 мк. Чтобы границы пленок были достаточно резкими, необходимо располагать сетку очень близко к подложке, и если можно, то на расстоянии, меньшем 0,025 мм. В процессе напыления в системе следует поддерживать достаточно высокий вакуум. Испаритель должен обеспечивать хорошо очерченный поток и располагаться вдали от подложки. Еще один фактор, от которого зависит четкость границ пленок, связан с рассеянием испаряемого материала от краев проволок или масок, в результате чего наносимое вещество попадает в области подложки под маской. Интенсивность рассеяния зависит от коэффициента конденсации материала и от других параметров, например скорости испарения и температуры масок. Степень рассеяния у разных металлов и диэлектриков весьма различна: кадмий и цинк рассеиваются очень сильно; медь, серебро, золото и алюминий рассеиваются слабее, причем степень рассеяния убывает в последовательности их перечисления. Попадание даже практически незаметных количеств посторонних материалов в область зазора исток — сток ППТ может существенно влиять на электропроводность полупроводника вследствие образования в зазоре проводящих мостиков. Аналогично рассеяние диэлектриков может препятствовать образованию хороших контактов между металлическими слоями или между металлическим электродом и полупроводником. Обеспечение электрохимического типа защиты металла цинкосодержащими смесями, разработанными в г. Минске совместно с партнёрами, в сочетании с хорошими рассеивающими свойствами, высокой адгезией, делает цинк незаменим в решении задач по антикорозионной защите. Влияние рассеяния сводится к минимуму, если при получении пленок строго ограничивать их толщину минимально необходимым значением. Рассеяние материала от масок может привести также к неправильному определению толщины пленки малой площади, если это делается с помощью тестовых измерений толщины одновременно напыляемой пленки большой площади. По этой причине целесообразнее контролировать толщину слоев всех наносимых компонентов по оптической прозрачности пленок, причем свет от источника должен проходить через ту же самую апертурную маску, которая определяет геометрическую форму данного слоя. Когда толщина пленки слишком мала для наблюдения заметного поглощения или интерференционных минимумов, применяется метод полного испарения определенной навески напыляемого материала. Этот способ дает воспроизводимые результаты. |
Как вам статья?
